Фирма-изготовитель: ЗАО НТ-МДТ (ЗАО Нанотехнология МДТ, г.Москва), Россия
Год выпуска: 2008

     НАНОФАБ НТК-9 – это комплекс технологических модулей, обеспечивающий возможность изготовления планарных и трехмерных наноструктур с точностью несколько нанометров. Концепция платформы – объединить в едином комплексе несколько методов обработки и исследования полупроводниковых материалов. Все процедуры производятся в автоматическом режиме в условиях высокого и сверхвысокого вакуума. Модульная технологическая система с кластерной компоновкой позволяет использовать подложки диаметром до 100 мм.

Методы формирования планарных структур с контролем процесса во время формирования или деструкции:
– импульсное лазерное осаждение;
– молекулярная лучевая эпитаксия;
– газофазное осаждение;
– магнетронное, термическое, электронно-лучевое напыление;
– плазменные методы травления и роста.

Технологические модули НАНОФАБ НТК-9:
– модуль сверхвысоковакуумного сканирующего зондового микроскопа;
– модуль травления фокусированным ионным пучком;
– модуль локальной ионной имплантации;
– модуль молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе;
– модуль химического осаждения из газовой фазы для выращивания углеродных нанотрубок;
– модуль импульсного лазерного осаждения;
– модуль отжига образцов.

Зондовые системы НАНОФАБ НТК-9:
– электронный луч;
– ионный пучок;
– твердотельный зонд.