№ Вид Срок выполнения Заказчик Тема Исполнитель
1 НИР 2014-2016 Мин. Обр. РФ (базовая часть госзадания) Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально-интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений Кафедра КЭС
2 НИР 2014-2016 Мин. Обр. РФ (базовая часть госзадания) Разработка технологических основ и проведение экспериментальных исследований процессов формирования мемристоров на основе наноразмерных структур оксида титана и нанокристаллических пленок ZnO для элементов энергонезависимой RRAM Кафедра НТ МСТ
3 НИР 2014-2016 Мин. Обр. РФ (проектная часть госзадания) Разработка и исследование функциональных элементов интегральных схем СВЧ с
пространственной передислокацией максимума плотности носителей заряда в квантовых областях
гетероструктур полупроводниковых материалов А3В5 		Кафедра КЭС
4 НИР 2014-2016 Мин. Обр. РФ (проектная часть госзадания) № 16.1154.2014/K Разработка и исследование конструктивно-технологических решений формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники на основе пленок графена на карбиде кремния методом фокусированных ионных пучков Кафедра НТ МСТ
5 НИР 2014–2015 РФФИ №14-07-31162 мол_а Исследование процессов локального ионно-стимулированного осаждения материалов для формирования средств зондовой нанодиагностики Кафедра НТ МСТ
6 НИР 2014–2015 РФФИ № 14-07-31322 мол_а Теоретическое и экспериментальное исследование процессов формирования и мемристорных свойств массивов оксидных наноразмерных структур титана методами зондовых нанотехнологий Кафедра НТ МСТ
7 НИР 2014–2016 Мин обр. РФ ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014 — 2020 годы» «Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и
наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем» 		Кафедра КЭС
8 НИР 2014-2015 РФФИ-БФФИ Исследование процессов формирования нанокристаллических пленок оксида цинка в условиях ионной бомбардировки Кафедра НТ МСТ
9 НИР 2014 РФФИ №14-07-20175/14 Проект организации Международной конференции и молодежной школы-семинара «Нанотехнологии в электронике и МЭМС» Кафедра НТ МСТ
10 НИР 2012 №14.A18.21.0107 Разработка технологии формирования наноструктурированных материалов и гибридных сенсорных систем на их основе Кафедра ТБХ
11 НИР 2010 Внутренние работы Осаждение наноразмерных аэрозолей через акустический и гидродинамический пограничный слой Кафедра ЭГАиМТ